致力于成为全球领先的
自动化解决方案平台
• 工作温度: PCTFE: -40-71°C( -40-160℉ ) / Vespel®: -10-90°C( 14-194℉ )
• 进气压力:0-3500psig (0-241bar)
• 出气压力:1-300psig ( 0.07-20.7bar )
• 本体尺寸:1/4"-1/2"
• 膜片材料:哈氏合金
• 连接方式:卡套、可旋转ECR内外螺纹、焊接、公头/母头ECR、NPT螺纹
• 阀体材料:316L、316L VAR 符合 SEMI F20
• 密封材料:PCTFE、Vespel®
• 阀体泄漏率(向内泄露):2.0x10-11Pa·m3/s以下
• 阀体泄漏率(向外泄露):2.0x10-10Pa·m3/s以下
• 阀座泄露率:4.0x10-9Pa·m3/s以下
• 阀门内部流道:电解抛光处理 Ra≤0.25μm